嘉宾简介：董红，南开大学电子信息与光学工程学院教授，博士生导师，从事半导体材料、器件研究，并开展ALD与XPS等材料表面分析仪器国产化和产业化工作。发表与合作发表了90多篇论文，获得了多个ALD和XPS的整机以及核心零部件的国家发明专利，半导体与高-k和金属的界面和表面研究。
报告简介：界面质量是影响电子器件性能的关键因素。X射线光电子能谱（XPS）是表面界面物理化学表征的常用手段，可以实现几个纳米以内的材料成分，价态，能带，元素扩散，界面偶极子等信息。在实验设计和分析过程中，容易引入误判，造成整个机制机理的错误归因。本报告将覆盖基本原理到分析技巧和注意事项，并现场分析数据为例协助电子器件研究。此外，TEM的制样，分析模式等注意事项也将汇报。
